静态阴极荧光系统是一种在微纳米尺度下，集材料的形貌观察、成分分析和阴极荧光光谱分析为一体的综合表征设备和方法，具有空间分辨率高、应用领域广泛等特点，在半导体、材料、地质、物理、化学、微电子等领域的科学研究和工业生产中具有无法替代的价值。我国对静态阴极荧光系统具有大量需求，而之前国内无掌握类似技术的单位，此类高端科研仪器完全依赖于进口。

本项目研制了静态阴极荧光系统产品并开展工程化，这是我国首款自主研发的静态阴极荧光分析系统产品。该静态阴极荧光分析系统能够与扫描电子显微镜或聚焦离子束系统配合，实现阴极荧光全谱及单谱扫描成像、光谱采集以及阴极荧光光谱面分布探测。光谱分辨率优于1nm，采用了高性能椭球反射镜，在荧光成像理论采集效率（>90%）、易用性（近1mm大面积均匀探测）、可拓展性（兼容任意型号电镜）等方面达到或优于目前国际同类产品。

主要创新点：

· 高激发能量、宽光谱范围、大激发深度。

· 阴极荧光光谱分辨率优于1nm。

· 能够实现选区阴极荧光光谱采集、光谱面分布分析、阴极荧光全谱成像及单谱成像等功能。

目前，本项目成果已完成研发并基本定型，成立了“北京金竟科技有限责任公司”、“金竟（广州）科技有限责任公司”推进产业化落地。